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1、深冷空分制氮,即把壓縮空氣液化,通入分餾塔,然后利用氧氣、氮?dú)獾姆悬c(diǎn)不同,分離出氮?dú)猓兌然竟潭ㄔ?9.9995%)和富氧(35%的氧氣+氮?dú)猓?。深冷分離是成熟的工藝,一般適合于大型空分,且由于啟動(dòng)時(shí)間在2個(gè)小時(shí)以上,啟動(dòng)成本高,所以對(duì)用氣連續(xù)性要求很高。適合大型用氮,純度要求高,用氣連續(xù)波動(dòng)少的用戶。
2、膜分離制氮,即通過(guò)膜對(duì)氮?dú)?、氧氣通過(guò)的選擇性不同制氮的。氮?dú)饧兌纫话?5%左右,膜分離制氮技術(shù)還不是很成熟,市場(chǎng)應(yīng)用不多。
3、變壓吸附制氮(PSA),即利用分子篩不同壓力下對(duì)氮?dú)?、氧氣的吸附率不同而制氮的。這也是適合小型制氮的技術(shù)。經(jīng)濟(jì)制氮的純度范圍可以在99~99.9%。